SiC 발열체 비제품 성질

물리적 성질

SiC 발열체의 물리적 성질은 제조 공법과 소결 온도에 따라 다소 차이가 있으나, 일반적으로 다음과 같은 특성을 갖습니다.

겉보기 밀도: 2.5 g/cm³ (D3/E-F형), 2.8 g/cm³ (SG/SGR형)

기공율: 25~30%

평균 굽힘강도: 49 MPa (D3/E-F형), 98 MPa (SG/SGR형)

열전도율: 14~21 W/m·°C (1000°C 기준)

열팽창계수: 4.5 × 10⁻⁶/°C

전기적 성질

SiC 발열체의 저항은 온도에 따라 변화합니다. 실온에서는 비교적 높은 저항을 갖지만, 온도가 상승함에 따라 500~700°C 부근에서 최저 저항값을 보이며, 그 이상에서는 다시 서서히 증가합니다. 이 특성을 고려하여 전원 장치의 설계와 운전 조건을 설정해야 합니다.

화학적 성질

SiC는 산화 분위기에서 사용 시 표면에 SiO₂ 보호 피막이 형성되어 추가 산화를 억제합니다. 그러나 수소, 일산화탄소 등 환원성 분위기에서는 피막 형성이 억제되어 수명이 단축될 수 있습니다.

분위기별 최고 사용온도

대기 중: 1600°C

질소(N₂) 분위기: 1400°C

아르곤(Ar) 분위기: 1600°C

수소(H₂) 분위기: 1200°C

진공(10⁻² Torr): 1100°C